電子級(jí)氫氟酸

       電子級(jí)氫氟酸是氟化氫的水溶液,為無色透明液體, 在25℃時(shí)密度1.15gml(50% HF)。對(duì)金屬、玻璃、混凝土等具有強(qiáng)烈腐蝕性。電子級(jí)氫氟酸作為集成電路（IC）制造的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蝕，用時(shí)可與過氧化氫、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。它的純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。有強(qiáng)烈腐蝕性，其蒸氣具有刺激性，接觸皮膚可引起嚴(yán)重?zé)齻也灰字斡?，?yīng)先用大量水沖洗后就醫(yī)。使用時(shí)應(yīng)戴好防護(hù)用具，防止吸入呼吸道。電子級(jí)氫氟酸具有品種多、用量大、技術(shù)要求高、貯存有效期短和強(qiáng)腐蝕性等特點(diǎn)。

       電子級(jí)氫氟酸主要用于集成電路制造行業(yè)、液晶面板制造行業(yè)以及太陽能電池制造行業(yè)。目前國(guó)內(nèi)外制備高純氫氟酸的常用提純技術(shù)有精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、氣體吸收等技術(shù)，其基本都以工業(yè)氫氟酸和無水氫氟酸為原料，但均經(jīng)過粗餾、精餾、吸收、冷凝、膜過濾、灌裝等工段。國(guó)際高純?cè)噭┑燃?jí)應(yīng)符合SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)。